在化学气相沉积中，如泡利不相容原理、相对论原理等。机理和原理有什么区别解释一：是指为实现某一特定功能，最基础，
机理和原理的区别：意思不同。具体如下：
机理：
解释一：是指为实现某一特定功能，一定的系统结构中各要素的内在方式以及诸要素在一定环境条件下相互联系、相互作用的运行规则和原理。
解释二：机理是指事物变化的理由与道理。在化学动力学中，所谓“机理”是指从原子的结合关系中来描绘化学过程。在化学气相沉积中，机理的含义更加广泛。如果其过程是动力学控制的，机理是指原子水平的表面过程。
原理：
文字原来的理由，最基础，最根本的理论，某一领域或学科中带有普遍性的、最基本的、可以作为其他规律的基础的规律。
原理以大量实践为基础，故其正确性直接由实践检验与确定。如泡利不相容原理、相对论原理等。
两者区别在于机理多指的是事物运行变化的理由与道理的过程，原理多指事物运行的原由或者规律。
